Ярымүткәргеч фильтрлар

Ярымүткәргеч газ фильтрлары:

Чип ясауда газның чисталыгын тәэмин итү

Ярымүткәргеч җитештерүнең катлаулы дөньясында, төгәллек һәм чисталык иң мөһиме, сыйфаты

кулланылган газлар процессның уңышын билгеләүдә мөһим роль уйныйлар. Начарлыклар, хәтта чиксез дәрәҗәдә дә,

микрочипларның нечкә схемасына зарар китерергә мөмкин, аларны кимчелекле һәм кулланып булмый. Сакларга

бу критик процесс, ярымүткәргеч газ фильтрлары тотрыксыз опека булып торалар, пычраткыч матдәләрне җентекләп бетерәләр

һәм җитештерү линияләре аша агучы газларның төп сыйфатын тәэмин итү.

Синтерланган металл фильтрларның бик яхшы үзенчәлекләре һәм өстенлекләре бар

1. Заманча чистарту мохитендә эшләнгән

Бу фильтрлар заманча чистарту бүлмәсендә туа, потенциаль пычрануны киметү өчен чиста булмаган шартлар саклана. Алар чистартылган һава атмосферасында төгәл эретеп ябыштырудан башлап, каты җитештерү процессын узалар. Аннан соң деонизацияләнгән су агымы, аннары югары басымлы, фильтрланган азот чистарту, озакка сузылган кисәкчәләрне юкка чыгара һәм кисәкчәләр түгү куркынычын киметә.

2. Аерым кисәкчәләрне бетерү эффективлыгы

SEMI F38 һәм ISO 12500 сынау ысуллары белән куелган катгый стандартларга буйсынып, 0,003μм кисәкчәләр өчен 9 LRV фильтрлау эффективлыгы белән, бу фильтрлар коррозиядән барлыкка килгән кисәкчәләрне һәм кисәкчәләрне эффектив рәвештә бетерәләр, чиста чисталыкны тәэмин итәләр. газлар.

3. Supгары механик көч

Productionгары газ басымын еш кулланган производство процессларында һәм мохиттә гаҗәеп ныклыкны гарантияләү өчен каты сынадылар, бу фильтрлар гомере буе какшамас эш башкаралар.

4. Иң югары сәнәгать стандартларыннан артып китү

Ярымүткәргеч эшкәртү өчен каты газ эшкәртү фильтрлау таләпләрен узып, бу фильтрлар ярымүткәргеч җитештерүдә газ җибәрү системалары таләп иткән критик фильтрлау эффективлыгына, төгәл агым контроле һәм куркынычсызлык стандартларына туры килүен гарантияләү өчен катгый сынаулар узалар.

5. Куркынычсызлыкка тугрылыклы бурыч

Яна торган, коррозив, агулы һәм пирофор процесс газларына эләгүдән саклану өчен, фильтр корпуслары җентекләп агып чыгу сынауларын узалар, алар 1х10-9 атм ск / секундтан да ким булмаган искиткеч тизлеккә ирешүне тәэмин итәләр. Куркынычсызлыкка бирелгән бу тугрылыклы куркыныч газларның булуын һәм зарар китермәвен тәэмин итә.

6. Чип ясау отличнигы өчен компромисс чисталыгы

Аларның аеруча фильтрлау мөмкинлекләре, куркынычсызлыкка тугрылыклы булу, һәм сәнәгатьнең иң югары стандартларына буйсыну аркасында, бу газ фильтрлары ярымүткәргеч җитештерүнең катлаулы процессын саклауда төп роль уйныйлар. Алар чисталыкны саклаучылар булып торалар, җитештерү линияләре аша иң чиста газлар гына агымын тәэмин итәләр, безнең заманча дөньяны куәтли торган югары җитештерүчән микрочиплар булдыруга юл ача.

Ярымүткәргеч фильтр төрләре

Ярымүткәргеч фильтрлар төрле кушымталарда кулланыла, шул исәптән:

* Электроника җитештерү:

Ярымүткәргеч фильтрлар ярымүткәргеч җитештерүдә кулланылган ультрафур судан, газлардан һәм химик матдәләрдән кисәкчәләрне чыгару өчен кулланыла.

* Химик механик планаризация (CMP):

Ярымүткәргеч фильтрлар ярымүткәргеч ваферларны чистарту өчен кулланыла торган CMP пычракларыннан кисәкчәләрне чыгару өчен кулланыла.

* Биомедицина:

Ярымүткәргеч фильтрлар медицина диагностикасында һәм дәвалауда кулланылган сыеклыклардан кисәкчәләрне чыгару өчен кулланыла.

* Экологик:

Ярымүткәргеч фильтрлар һавадан һәм судан кисәкчәләрне чыгару өчен кулланыла.

Ярымүткәргеч фильтрларның дүрт төп төре бар:

1. Мембрана фильтрлары:

Мембрана фильтрлары нечкә, күзәнәкле пленкадан эшләнгән, бу кисәкчәләрне каплаган вакытта сыеклыклар үтәргә мөмкинлек бирә.

 

Ярымүткәргеч өчен мембрана фильтрлары

 

 

2. Тирәнлек фильтрлары:

Тирәнлек фильтрлары калын, газаплы материалдан ясалган, алар фильтр аша агып барганда кисәкчәләрне каплыйлар.

 

Ярымүткәргеч өчен тирән фильтрлар

 

 

3. Адсорбент фильтрлары:

Адсорбент фильтрлары кисәкчәләрне җәлеп итә торган материалдан эшләнгән.

 

 Ярымүткәргеч өчен адсорбент фильтрлары

 

 

4. Синтерланган металл фильтрлар

Синтерланган металл фильтрлар - ярымүткәргеч җитештерүдә гадәттә кулланыла торган тирәнлек фильтры. Алар нечкә металл порошогын күзәнәкле структурага кертеп ясыйлар. Синтерланган металл фильтрлар югары ныклыгы, югары фильтрлау эффективлыгы, югары температурага һәм басымга каршы тору сәләте белән билгеле.

Ярымүткәргеч җитештерү өчен синтерланган металл фильтрларның өстенлекләре:

* Highгары ныклык:

Синтерланган металл фильтрлар бик чыдам һәм каты эш шартларына, шул исәптән югары температурага, басымга, коррозив химикатларга каршы тора ала.

 

* Filгары фильтрлау эффективлыгы:

Синтерланган металл фильтрлар кисәкчәләрне 0,01 микронга кадәр чыгарырга мөмкин, бу нечкә ярымүткәргеч компонентларны пычранудан саклау өчен кирәк.

* Озын гомер:

Синтерланган металл фильтрларның озын гомере бар, аларны җиңел чистартып, кабат кулланырга мөмкин.

* Химик яраклашу:

Синтерланган металл фильтрлар химикатларның киң ассортименты белән туры килә, аларны төрле ярымүткәргеч җитештерү процессларында куллану өчен яраклы итә.

Ярымүткәргеч җитештерүдә синтерланган металл фильтрлар куллану:

* Газны чистарту:

Синтерланган металл фильтрлар азот, водород һәм кислород кебек ярымүткәргеч җитештерүдә кулланылган газларны чистарту өчен кулланыла.

* Химик фильтрлау:

Синтерланган металл фильтрлар ярымүткәргеч җитештерүдә кулланылган химикатларны фильтрлау өчен кулланыла, мәсәлән, кислоталар, нигезләр, эреткечләр.

* Ультрапур су фильтрлау:

Синтерланган металл фильтрлар ярымүткәргеч җитештерүдә кулланылган УЗИ суын фильтрлау өчен кулланыла.

* CMP пычрак фильтрлау:

Синтерланган металл фильтрлар ярымүткәргеч вафларны чистарту өчен кулланыла торган CMP пычракларын фильтрлау өчен кулланыла.

Синтерланган металл фильтрлар ярымүткәргеч җитештерү процессының мөһим өлеше булып, югары сыйфатлы ярымүткәргеч җайланмалар җитештерүне тәэмин итә.

 

Билгеле кушымтада кулланылган ярымүткәргеч фильтр төре чыгарыла торган кисәкчәләрнең зурлыгына, фильтрланган фильтр төренә һәм кирәкле фильтрлау дәрәҗәсенә бәйле.

Менә ярымүткәргеч фильтрларның төрле төрләренә йомгак ясаган таблица:

Фильтр тибы	Тасвирлау	Кушымталар	Рәсем
Мембрана фильтрлары	Кисәкчәләрне каплаган вакытта сыеклыклар үтәргә мөмкинлек бирүче нечкә, күзәнәкле пленкадан эшләнгән.	Электроника җитештерү, CMP, биомедицина, экологик	Ярымүткәргеч өчен мембрана фильтрлары
Тирәнлек фильтрлары	Фильтр аша үткәндә кисәкчәләрне каплаган калын, газаплы материалдан ясалган.	CMP, биомедицина, экологик	Ярымүткәргеч өчен тирән фильтрлар
Адсорбент фильтрлары	Кисәкчәләрне җәлеп итә торган материалдан эшләнгән.	Электроника җитештерү, CMP, биомедицина, экологик	Ярымүткәргеч өчен адсорбент фильтрлары
Синтерланган металл фильтрлар	Нечкә металл порошогын күзәнәкле структурага кертеп ясалган.	Газны чистарту, химик фильтрлау, УЗИ су фильтрлау, CMP пычрак фильтрлау	Яңа тәрәзәдә ачылаwww.hengko.com Ярымүткәргеч өчен синтерланган металл фильтрлар

Заявка

Синтерланган металл ярымүткәргеч газ фильтрлары ярымүткәргеч тармагында төрле кушымталарда киң кулланыла. Аларның уникаль үзенчәлекләре, мәсәлән, югары фильтрлау эффективлыгы, ныклыгы, югары температурага һәм басымга каршы тору сәләте аларны ярымүткәргеч җитештерүдә газ җибәрү системасының мөһим компоненты итә.

Синтерланган металл ярымүткәргеч газ фильтрларының кайбер махсус кулланмалары:

1. Вафин җитештерү:

Синтерланган металл фильтрлар азот, водород һәм кислород кебек вафер җитештерүдә кулланылган газларны чистарту өчен кулланыла. Бу газлар эпитаксиаль үсеш, эфинг һәм допинг кебек процесслар өчен бик кирәк.

2. Химик фильтрлау:

Синтерланган металл фильтрлар ярымүткәргеч җитештерүдә кулланылган химикатларны фильтрлау өчен кулланыла, мәсәлән, кислоталар, нигезләр, эреткечләр. Бу химик матдәләр чистарту, чистарту, бизәү кебек төрле максатларда кулланыла.

3. Ультрапур су фильтрлау:

Синтерланган металл фильтрлар ярымүткәргеч җитештерүдә кулланылган УЗИ суын (UPW) фильтрлау өчен кулланыла. UPW ваферларны чистарту һәм чайкау, шулай ук ​​химик матдәләр әзерләү өчен бик кирәк.

4. CMP пычрак фильтрлау:

Синтерланган металл фильтрлар ярымүткәргеч вафларны чистарту өчен кулланыла торган CMP пычракларын фильтрлау өчен кулланыла. CMP - микрочиплар ясауда критик процесс.

5. Куллану ноктасы (POU) фильтрлау:

Синтерланган металл фильтрлар еш POU фильтрлары буларак кулланыла, алар иң югары фильтрлауны тәэмин итү өчен турыдан-туры куллану ноктасына куелган. POU фильтрлары газның чисталыгы критик булган кушымталар өчен аеруча мөһим, мәсәлән, микропроцессорлар һәм башка югары җитештерүчән җайланмалар җитештерүдә.

6. Gasгары чисталыклы газ эшкәртү:

Синтерланган металл фильтрлар югары чисталыклы газ эшкәртү системаларында ярымүткәргеч җитештерүдә кулланылган газлардан пычраткыч матдәләрне чыгару өчен кулланыла. Бу пычраткыч матдәләргә кисәкчәләр, дым һәм органик кушылмалар керергә мөмкин.

7. Микроэлектроника җитештерү:

Синтерланган металл фильтрлар компьютер, планшет, кәрәзле телефон, IoT сенсорлары һәм контроль җайланмалары кебек микроэлектроника җитештерүдә кулланыла.

8. Микро-электромеханик системалар (MEMS) фильтрлау:

Синтерланган металл фильтрлар MEMS фильтрлауда кулланыла, бу микро-электромеханик системалардагы пычраткыч матдәләрне чыгару процессы. MEMS төрле кушымталарда кулланыла, сенсорлар, актуаторлар, трансдуктерлар.

9. Мәгълүмат саклау җайланмасын фильтрлау:

Синтерланган металл фильтрлар мәгълүмат саклау җайланмаларын фильтрлауда кулланыла, бу каты саклагычлар һәм каты-саклагычлар кебек мәгълүмат саклау җайланмаларындагы пычраткыч матдәләрне чыгару процессы.

Бу конкрет кушымталарга өстәп, синтерланган металл ярымүткәргеч газ фильтрлары шулай ук ​​ярымүткәргеч тармагында төрле кушымталарда кулланыла. Аларның күпкырлылыгы һәм ышанычлылыгы аларны ярымүткәргеч җитештерүчеләр өчен кирәкле коралга әйләндерә.

Topгары сыйфатлы синтерланган металл ярымүткәргеч газ фильтрларын эзлисезме?

HENGKO - ярымүткәргеч җитештерү системаларында OEM чишелешләре өчен сезнең партнер.

Безнең төгәл эшләнгән фильтрлар сезнең процессларның ышанычлылыгын һәм эффективлыгын тәэмин итә, сезгә көндәшлеккә сәләтле базарда тәкъдим итә.

Нигә HENGKO фильтрларын сайларга?

* Qualityгары сыйфат һәм ныклык
* Сезнең конкрет ихтыяҗларыгызга туры китерелгән карарлар
* Ярымүткәргеч җитештерү өчен көчәйтелгән эш

Фильтрлау проблемалары сезнең производствоны тоткарламасын.

Синтерланган металл фильтрлар сезнең җитештерү системасын ничек үзгәртә ала икәнлеген тикшерү өчен бүген безгә мөрәҗәгать итегез.

Безнең белән элемтәгә керегезka@hengko.com

HENGKO белән партнер һәм ярымүткәргеч җитештерүдә камиллеккә таба адым яса!