ярымүткәргеч газ фильтрлары

Нигә ярымүткәргеч җитештерү процессында газ фильтрларын кулланырга кирәк? 

Газ фильтрлары ярымүткәргеч җитештерү процессында берничә критик сәбәп аркасында мөһим:

1. Пычраткычны бетерү

Ярымүткәргеч эшкәртү күп санлы сизгер процессларны үз эченә ала, хәтта иң кечкенә пычраткыч матдәләр дә,

тузан кисәкчәләре, дым яки химик калдыклар зарарлы йогынты ясарга мөмкин. Газ фильтрлары чыгарыла

чиста мохитне тәэмин итеп, процесс газларыннан кисәкчәләр матдәләре, пычраклар һәм һавада булган пычраткыч матдәләр

һәм ярымүткәргеч вафларның бөтенлеген саклау.

2. Ультра-чисталык стандартларын саклау

Ярымүткәргеч индустриясе пычраклар булган кебек кулланылган газларда бик югары чисталык таләп итә

ярымүткәргеч җайланмалардагы кимчелекләргә китерә. Газ фильтрлары ультра-чиста газ сыйфатын булдырырга булыша, булдырмый

пычрату һәм продуктларның эзлеклелеген һәм ышанычлылыгын тәэмин итү.

3. Equipmentиһазларны саклау

Газлардагы пычраткыч матдәләр ярымүткәргеч вафаларга зыян китереп кенә калмый, сизгерләргә дә зыян китерә ала

җитештерү процессында кулланылган җиһазлар, мәсәлән, химик пар парламенты (CVD) реакторлары һәм

чистарту системалары. Газ фильтрлары бу кыйммәтле машиналарны зыяннан саклый, куркынычны киметә

эштән туктау һәм кыйммәт ремонт.

4. Ieldгалтудан саклану

Ярымүткәргеч җитештерүдә уңыш бик мөһим, анда җитешсезлекләр җитештерүдә зур югалту китерергә мөмкин.

Хәтта бер кисәкчәләр яки химик пычраклык уңышны югалтуга китерергә мөмкин, җитештерүчәнлеккә һәм рентабельлелеккә.

Газ фильтрлары пычратуны киметеп, уңыш югалтуын киметеп, процесс газларының чиста булуын тәэмин итә.

5. Продукциянең сыйфатын тәэмин итү

Ярымүткәргеч җитештерүдә эзлеклелек һәм сыйфат беренче урында тора. Пычратылган газлар барлыкка китерергә мөмкин

туры килмәү, ышанычсыз ярымүткәргеч җайланмаларга китерә. Газ фильтрларын кулланып, җитештерүчеләр эшли ала

һәр партиянең таләп ителгән катгый сыйфат стандартларына туры килүенә гарантия бирегез, бу югары җайланмага китерә

башкару һәм озын гомер.

6. Эш вакытын киметү

Процесс газындагы пычраткыч матдәләр техниканың ватылуына китерергә мөмкин, техник хезмәт күрсәтүне яки алыштыруны таләп итә.

Газ фильтрларын кулланып, җитештерүчеләр көтелмәгән эш вакытын киметергә, оператив эффективлыкны сакларга һәм

критик җиһазларның гомер озынлыгын озайту.

7. Химик туры килү

Ярымүткәргеч процессларда кулланылган газларның күбесе бик реактив яки коррозив. Газ фильтрлары

Бу каты химик мохиткә каршы тору өчен эшләнгән, пычракларны эффектив фильтрлау, тәэмин итү

куркынычсыз һәм эффектив эшкәртү.

Гомумән, ярымүткәргечнең чисталыгын, ышанычлылыгын, куркынычсызлыгын саклау өчен газ фильтрлары бик мөһим

җитештерү процессы, югары сыйфатлы, кимчелексез ярымүткәргеч продуктларга ирешергә булыша

кыйммәтле җиһазларны саклау.

Ярымүткәргеч җитештерү процессында газ фильтрлары төрләре

Ярымүткәргеч җитештерү процессында төрле типтагы газ фильтрлары кулланыла

газ чисталыгы һәм җиһазларны саклау белән бәйле этаплар һәм проблемалар.

Гадәттә кулланыла торган газ фильтрлары:

1. Фильтрлар

* Максат: Процесс газларыннан кисәкчәләрне, тузанны һәм башка каты пычраткыч матдәләрне чыгару.

* Куллану: Ваферларны, эшкәртү палаталарын, җиһазларны кисәкчәләр пычрануыннан саклау өчен еш төрле этапларда урнаштырыла.

* Материаллар: Гадәттә синтерланган дат басмаган корычтан, PTFE яки ныклыкны һәм химик яраклашуны тәэмин итүче башка материаллардан эшләнгән.

2. Молекуляр яки химик фильтрлар (Геттер фильтрлары)

* Максат: Процесс газларында булырга мөмкин дым, кислород яки органик кушылмалар кебек молекуляр пычраткыч матдәләрне бетерү өчен.

* Куллану: Highгары чисталыклы газ кирәк булганда кулланыла, мәсәлән, чүпләү яки чистарту процессы вакытында.

* Материаллар: Еш кына молекуляр пычракларны каплау өчен махсус эшләнгән күмер, зеолит яки башка adsorbent материаллар ярдәмендә төзелә.

3. Pгары чисталыклы газ фильтрлары

* Максат: Ультра югары чисталыкка (UHP) газ стандартларына ирешү өчен, ярымүткәргеч процесслар өчен бик мөһим, анда аз гына пычраклык продукт сыйфатына тәэсир итә ала.

* Куллану: Бу фильтрлар химик пар парламенты (CVD) һәм Плазма Этчинг кебек процессларда кулланыла, анда пычраклар җитди кимчелекләр китерергә мөмкин.

* Материаллар: Pressureгары басым һәм экстремаль шартларда бөтенлекне саклау өчен махсус мембраналар белән пасовкасыз корычтан эшләнгән.

4. Күпчелек газ фильтрлары

* Максат: Газларны керү ноктасында яки җитештерү линияләренә таратыр алдыннан чистарту.

* Куллану: Газларны индивидуаль коралларга яки реакторларга җибәргәнче күпләп фильтрлау өчен газ җибәрү системасында югары агым.

* Материаллар: Бу фильтрлар еш кына зур күләмдә газ эшкәртү өчен зур сыйдырышлыкка ия.

5. Куллану ноктасы (POU) газ фильтрлары

* Максат: Eachәрбер эшкәртү коралына китерелгән газларның пычраткыч матдәләрдән азат булуын тәэмин итү.

* Куллану: Газлар процесс җиһазлары белән таныштырылганчы урнаштырылган, мәсәлән, чистарту яки палаталар.

* Материаллар: Ярымүткәргеч процессларда кулланылган реактив газларга туры килгән материаллардан эшләнгән, синтерланган металл яки PTFE кебек.

6. Газ фильтрлары

* Максат: Бәйләү системасы аша хәрәкәт итүче газлар өчен эчке фильтрлау тәэмин итү.

* Куллану: Системада өзлексез фильтрлауны тәэмин итеп, төп нокталарда газ линияләре эчендә урнаштырылган.

* Материаллар: Газлар белән химик яраклашуны тәэмин итү өчен синтерланган дат басмаган корыч яки никель.

7. Газ фильтрлары

* Максат: Particисемнәрне һәм молекуляр пычраткыч матдәләрне чыгару өчен турыдан-туры газ панель компонентларына урнаштырылырга.

* Куллану: Каты урыннарда киң таралган, бу фильтрлар критик кушымталарда эффектив куллану фильтрлауны тәэмин итә.

* Материаллар: Ярымүткәргеч җитештерү газлары белән ныклык һәм яраклашу өчен югары чисталык пасовкасыз корыч.

8. Суб-Микрон Фильтрлар

* Максат: Ярымүткәргеч процессларында зур кимчелекләр китереп чыгарырга мөмкин булган суб-микрон зурлыклары кебек кечкенә кечкенә кисәкчәләрне фильтрлау.

* Куллану: Фотолитография кебек ультра саф газ белән тәэмин итү өчен иң югары фильтрлау таләп иткән процессларда кулланыла.

* Материаллар: Higherгары тыгызлыктагы синтерланган металл яки керамик материаллар, хәтта иң кечкенә кисәкчәләрне дә эффектив тозакка төшерә ала.

9. Активлаштырылган углерод фильтрлары

* Максат: Органик пычраткыч матдәләрне һәм үзгәрүчән газларны чыгару.

* Куллану: Газлы пычракларны вафер пычрату яки реакция бозу өчен бетерергә кирәк булган кушымталарда кулланыла.

* Материаллар: Органик молекулаларны сеңдерү өчен эшләнгән активлаштырылган углерод материаллары.

10.Синтерланган металл газ фильтрлары

* Максат: Структур көчен һәм югары басымга каршы торуны тәкъдим иткәндә кисәкчәләрне һәм пычракларны эффектив рәвештә бетерү.

* Куллану: Ярымүткәргеч процессның берничә этапында киң кулланыла, анда нык фильтрлау кирәк.

* Материаллар: Гадәттә каты мохиткә һәм химик матдәләргә каршы торыр өчен синтерланган дат басмаган корычтан яки башка металл эретмәләрдән ясалган.

11.Гидрофоб газ фильтрлары

* Максат: Дым яки су парларының газ агымына кермәсен өчен, кайбер процессларда критик, хәтта дым күләменә дә сизгер.

* Куллану: Еш кына вафер киптерү яки плазма эфиры кебек процессларда кулланыла.

* Материаллар: Гидрофобик мембраналар, PTFE кебек, газларның дым пычрануыннан саклансын өчен.

Бу төрле типтагы газ фильтрлары үзенчәлекле үзенчәлекләренә, материаль яраклашуга, ярымүткәргеч җитештерү процессларының уникаль шартларына яраклы рәвештә сайлап алына. Фильтрларның дөрес кушылмасы газ чисталыгының иң югары дәрәҗәсен саклау, процесс тотрыклылыгын тәэмин итү, ярымүткәргеч җайланмалардагы кимчелекләрне булдырмау өчен бик мөһим.

Ярымүткәргеч газ фильтрлары турында кайбер сораулар

Сораулар 1:

Ярымүткәргеч газ фильтрлары нәрсә ул һәм ни өчен алар мөһим?

Ярымүткәргеч газ фильтрлары ярымүткәргеч җитештерү процессында мөһим компонентлар.

Алар процесс газларыннан пычракларны һәм пычраткыч матдәләрне чыгару өчен эшләнгәнкислород,

азот, водород һәм төрле химик газлар.

Бу пычраклар ярымүткәргеч җайланмаларның сыйфатын, уңышын, ышанычлылыгын сизелерлек тәэсир итә ала.

Газ агымнарын эффектив фильтрлап, ярымүткәргеч газ фильтрлары ярдәм итә:

1. highгары чисталыкны саклагыз:

Manufacturingитештерү процессында кулланылган газларның җайланма эшчәнлеген киметә торган пычраткыч матдәләрдән аз булуын тәэмин итегез.

2. equipmentиһазларның зыянын булдырмагыз:

Нечкә ярымүткәргеч җиһазларны кисәкчәләрдән һәм химик пычранудан саклагыз, бу кыйммәт эштән китүгә һәм ремонтка китерергә мөмкин.

3. Продукциянең уңышын яхшырту:

Газ белән булган пычраклар аркасында җитешсезлекләрне һәм уңышсызлыкларны киметегез, нәтиҗәдә җитештерү күләме югары.

4. deviceайланманың ышанычлылыгын арттыру:

Пычрату белән бәйле проблемалар аркасында ярымүткәргеч җайланмаларның озак вакытлы деградациясен киметегез.

Сораулар 2:

Ярымүткәргеч газ фильтрларының гомуми төрләре нинди?

Ярымүткәргеч җитештерүдә берничә төрле газ фильтрлары кулланыла, аларның һәрберсе чыгару өчен эшләнгән

пычраткыч төрләр.

Иң еш очрый торган төрләр:

1.Партикуляция фильтрлары:

Бу фильтрлар тузан, җепселләр, металл кисәкчәләр кебек каты кисәкчәләрне газ агымнарыннан чыгаралар.

Алар гадәттә синтерланган металл, керамик яки мембрана фильтрлары кебек материаллардан эшләнгән.

2.Химик фильтрлар:

Бу фильтрлар су парлары, углеводородлар һәм коррозив газлар кебек химик пычракларны бетерәләр.

Алар еш кына активлаштырылган углерод кебек материаллар кулланып, adsorption яки үзләштерү принципларына нигезләнә,

молекуляр караклар, яки химик сорбентлар.

3.Комбинация фильтрлары:

Бу фильтрлар ике төрне дә бетерү өчен кисәкчәләр һәм химик фильтрларның мөмкинлекләрен берләштерәләр

пычраткыч матдәләр. Алар еш кына югары чисталык кирәк булган критик кушымталарда кулланыла.

Сораулар 3:

Ярымүткәргеч газ фильтрлары ничек сайланган һәм эшләнгән?

Ярымүткәргеч газ фильтрларын сайлау һәм проектлау берничә факторны үз эченә ала, шул исәптән:

* Газ чисталыгы таләпләре:

Конкрет газ агымы өчен кирәкле чисталык дәрәҗәсе фильтрның фильтрлау эффективлыгын һәм сыйдырышлыгын билгели.

* Агым тизлеге һәм басым:

Фильтрланырга тиешле газ күләме һәм эш басымы фильтрның зурлыгына, материалына һәм конфигурациясенә тәэсир итә.

* Пычраткыч төр һәм концентрация:

Газ агымында булган пычраткыч матдәләр фильтр медиасын һәм аның күзәнәк күләмен сайлый.

* Температура һәм дым:

Эш шартлары фильтрның эшенә һәм гомер озынлыгына тәэсир итә ала.

* Кыйммәт һәм хезмәт күрсәтү:

Фильтрның башлангыч бәясе һәм аны дәвам итү таләпләре каралырга тиеш.

Бу факторларны җентекләп карап, инженерлар конкретка туры килгән газ фильтрларын сайлый һәм проектлый ала

ярымүткәргеч җитештерү процессы ихтыяҗлары.

Ярымүткәргеч җитештерүдә газ фильтрларын ничә тапкыр алыштырырга кирәк?

Ярымүткәргеч җитештерүдә газ фильтрларының ешлыгы берничә факторга, шул исәптән төренә бәйле

процесс, пычраткычлар дәрәҗәсе, һәм кулланыла торган фильтр төре. Гадәттә, газ фильтрлары регуляр рәвештә алыштырыла

пычрату куркынычын булдырмас өчен хезмәт күрсәтү графигы,еш 6-12 ай саенкуллану шартларына карап

һәм фильтр җитештерүче тәкъдимнәр.

Ләкин, алмаштыру графиклары эш шартларына карап төрлечә булырга мөмкин. Мәсәлән:

* Highгары пычраткыч процесслар:

Фильтрлар югары дәрәҗәгә эләксә, аларны ешрак алыштырырга кирәк булырга мөмкин

кисәкчәләр яки молекуляр пычрану.

* Тәнкыйть кушымталары:

Бик югары чисталык таләп иткән процессларда (мәсәлән, фотолитография) фильтрлар еш алыштырыла

газ сыйфаты бозылмасын өчен.

Фильтр аша дифференциаль басымны күзәтү - фильтрны кайчан алыштырырга кирәклеген билгеләү өчен гомуми ысул.

Пычраткыч матдәләр туплангач, фильтр аша басым төшүе арта, бу эффективлыкның кимүен күрсәтә.

Фильтрларны эффективлыгы кимегәнче алыштыру бик мөһим, чөнки газ чисталыгын бозу зур кимчелекләр китерергә мөмкин,

уңышны киметегез, хәтта җиһазларның бозылуына китерә.

Ярымүткәргеч кушымталары өчен газ фильтрлары нинди материаллардан ясалган?

Ярымүткәргеч кушымталарда кулланылган газ фильтрлары иң югары чисталык стандартларын саклый алган материаллардан эшләнгән

һәм җитештерүдә булган кырыс мохиткә каршы торырга. Гомуми материаллар:

* Датсыз корыч (316Л): Химик каршылыгы, механик көче аркасында иң киң кулланылган материал, һәм

синтеринг технологиясен кулланып төгәл күзәнәк зурлыклары белән ясалу сәләте. Бу реактивны фильтрлау өчен яраклы

һәм инерт газлары.

* PTFE (Политетрафлуоретилен): PTFE - бик реактив яки коррозив фильтрлау өчен кулланылган химик инерт материал

газлар. Аның химик яраклашуы һәм гидрофобик үзенчәлекләре бар, аны дымга сизгер итә

процесслары.

* Никель һәм Гастеллой:

Бу материаллар югары температурада куллану өчен яки агрессив химик матдәләр өчен кулланыла

монда дат басмас корыч бозылырга мөмкин.

* Керамика:

Керамик фильтрлар экстремаль температурага каршы тору кирәк булган кушымталар өчен яки суб-микрон өчен кулланыла

кисәкчәләрне фильтрлау.

Материалны сайлау газ төренә, реактив төрләрнең булуына, температурага һәм

бүтән процесс параметрлары. Материаллар бернинди пычраклык кертмәсен өчен реактив булмаган булырга тиеш

яки кисәкчәләр процесска, шулай итеп ярымүткәргеч ясау өчен кирәк булган газ чисталыгы дәрәҗәсен саклыйлар.

Ярымүткәргеч җитештерүдә куллану ноктасы (POU) фильтрларының роле нинди?

Ярымүткәргеч җитештерүдә куллану ноктасы (POU) фильтрлары бик мөһим, чөнки алар газларның тиз арада чистартылуын тәэмин итәләр.

процесс коралларына керү. Бу фильтрлар газ агымына кергән пычраткыч матдәләрдән соңгы саклану тәэмин итә

саклау, ташу яки тарату вакытында, шулай итеп процесс тотрыклылыгын һәм продукт сыйфатын арттыра.

POU фильтрларының төп өстенлекләре:

* Критик җиһазларга якын урнашкан (мәсәлән, эфир яки чүпләү палаталары) ваферга килеп җитмәсен өчен.

* Газ эшкәртү системасы яки әйләнә-тирә мохит тәэсире белән кертелергә мөмкин булган кисәкчәләрне дә, молекуляр пычракларны да бетерегез.

* Газның иң югары сыйфаты процесс коралына китерелүен тәэмин итү, җиһазларны саклау һәм җитештерелгән җайланмаларның сыйфатын күтәрү.

* Процессның үзгәрүчәнлеген киметү, уңышны арттыру, җитешсезлек дәрәҗәсен киметү.

* Алга киткән ярымүткәргеч мохиттә алыштыргысыз, хәтта кечкенә пычраклар да җитештерүчәнлеккә һәм продуктның ышанычлылыгына зур йогынты ясый ала.

Газ фильтрлары ярымүткәргеч процессларында җиһазларның эш вакытын ничек булдырмаска?

Газ фильтрлары ярымүткәргеч процессларда җиһазларның эш вакытын туктаталар, процесс газларының эзлекле булмавын тәэмин итәләр

җитештерү җиһазларына зыян китерергә мөмкин булган пычраткыч матдәләр. Ярымүткәргеч эшкәртү югары куллануны үз эченә ала

сизгер җиһазлар, шул исәптән чүпләү камералары, плазма эшкәртү машиналары, фотолитография системалары.

Әгәр тузан, дым яки реактив пычраклар кебек пычраткыч матдәләр бу машиналарга керсәләр, алар төрле проблемалар тудырырга мөмкин,

клапаннарны һәм авышларны тыгудан башлап, вафер өслекләренә яки реактор интерьерларына кадәр.

Qualityгары сыйфатлы газ фильтрларын кулланып, җитештерүчеләр бу пычраткыч матдәләр кертүне булдырмыйлар, ихтималны киметәләр

планлаштырылган хезмәт күрсәтү һәм җиһазларның өзелүе. Бу минимальләштереп, тотрыклы җитештерү графигын сакларга булыша

кыйммәтле эш вакыты, һәм ремонт яки алмаштыру белән бәйле зур чыгымнардан саклану.

Моннан тыш, яхшы сакланган фильтрлар төп компонентларның гомер озынлыгын озайтырга булышалар, мәсәлән, агым контроллеры, клапаннар, реакторлар,

шулай итеп җитештерү процессының гомуми эффективлыгын һәм рентабельлелеген арттыру.

Шулай итеп, ярымүткәргеч газ фильтрлары турында кайбер детальләрне тикшергәннән соң, тагын берничә соравыгыз булса.

Ярымүткәргеч җитештерү процессын югары сыйфатлы газ фильтрлау эремәләре белән оптимальләштерергә әзерме?

Сезнең ихтыяҗларыгызны канәгатьләндерү өчен, эксперт җитәкчелеге һәм махсуслаштырылган карарлар өчен бүген HENGKO белән элемтәгә керегез.

Ярымүткәргеч газ фильтры турында кайбер детальләрне тикшергәннән соң, күбрәк сораулар алсагыз?

Ярымүткәргеч җитештерү процессын югары сыйфатлы газ фильтрлау эремәләре белән оптимальләштерергә әзерме?

Сезнең ихтыяҗларыгызны канәгатьләндерү өчен, эксперт җитәкчелеге һәм махсуслаштырылган карарлар өчен бүген HENGKO белән элемтәгә керегез.

Безгә электрон почта аша хәбәр итегезka@hengko.comкүбрәк мәгълүмат алу өчен.

Безнең коллектив монда сезнең җитештерү эффективлыгын һәм продукт сыйфатын күтәрергә ярдәм итә.