Фабрикалар һәм чиста бүлмә кушымталары өчен төгәл агым контролен тәэмин итүче югары чисталыклы фильтр элементлары җитештерүчесе
Югары чисталыклы фильтр элементлары җитештерүчесе төгәл агым контролен тәэмин итә
Fabs һәм Cleanroom кушымталары өчен
Тасвирлама
HENGKO өслек монтажлау фильтрлары ярымүткәргечле OEM коралларында кулланыла торган интеграль газ системаларының таләпчән таләпләрен канәгатьләндерер өчен эшләнгән. 0,003 мкм фильтрлау тизлегендә тармакта алдынгы булган бу фильтрлар, 120 slpm да ≥99.9999999% (9-LRV) кисәкчәләрне тоту нәтиҗәлелеге белән гаҗәеп эшчәнлек һәм ышанычлылык тәэмин итә.
Фильтр элементы һәм корпусы өчен эретелгән ныклы 316L дат басмас корыч порошогыннан эшләнгән бу фильтрлар SEMI F86-0304 спецификацияләренә туры килә, аларда C-мөһер конфигурациясе белән 1,125 дюймлы газ бүлү системалары өчен махсус эшләнгән ике портлы компонентлар бар. Алар 100°C температурада 3,4 МПа максималь керү басымын һәм 100°C температурада 0,69 МПа максималь эш басымы дифференциациясен тоталар.
Бу махсуслаштырылган фильтрлар, C һәм W типтагы герметик спецификацияләренә туры килә, кисәкчәләрне чыгару белән агымдагы чисталыкны тәэмин итә.
Ra өслеге белән капланганТышкы яктан < 1,6 мкм һәм RaЭчке өлешендә < 0,13 мкм, алар 460°C кадәр югары температураларга чыдам булырлык итеп эшләнгән. Җиңел интеграцияләү һәм модульле дизайнны яңарту өчен эшләнгән бу фильтрлар урнаштыруны һәм хезмәт күрсәтүне гадиләштерә, ярымүткәргеч газ белән тәэмин итү һәм контрольдә тоту кушымталарында система эшчәнлеген оптимальләштерергә ярдәм итә.
Продукция үзенчәлеге
▶ Гомуми конструкциясе 316L дат басмас корычтан
▶ Миниатюр дизайн, компакт структура, урынны экономияләү
▶ Бик яхшы газ алыштыру һәм десорбция үзенчәлекләре
▶ Югары температурага, югары басымга һәм коррозиягә чыдам
▶ Электро-шлифовкаланган 316L дат басмас корыч корпус
▶ Җиңел һәм нәтиҗәле урнаштыру һәм хезмәт күрсәтү
▶ Механик герметик, структура ягыннан мохиткә эретеп ябыштырылмаган
мәгълүматлар таблицасы
| Техник параметрлар | Кыйммәтләр |
|---|---|
| Фильтр элементы материалы | 316L дат басмас корычтан ясалган порошок |
| Торак материалы | 316L дат басмас корыч |
| Максималь керү басымы | 100°C температурада 3,4 МПа |
| Максималь эш дифференциальлеге | 100°C температурада 0,69 МПа |
| Гелий тикшерү агып чыгу тизлеге | 1x10⁻¹¹ см³/мин |
| Гелий сынау агып чыгу тизлеге | 1x10⁻⁹ см³/мин |
| Өслек эшкәртү | Тышкы өслек Ra< 1,6 мкм |
| Эчке өслек Ra< 0,13 мкм | |
| Максималь эш температурасы | 460°C |
| Кисәкчәләрне тоту нәтиҗәлелеге | ≥99.9999999% (9-LRV) @ 120 slpm (Билгеләнгән MPPS, барлык кисәкчәләр) |
| Агым асты чисталыгы | Кисәкчәләрнең бүленеп чыгуы:< 0,03 кисәкчә/литр (< 1 кисәкчә/фут³) |
| Учучы матдәләр:< 10 ppb дымлылык | |
| Кисәкчәләрне тоту зурлыгы | ≥0,003 мкм |
| Агым диапазоны | 0 ~ 120 slpm |
Зурлык
Менә сез заказ бирә алырлык деталь номеры һәм зурлыгы турында мәгълүмат:
| Продукт моделе | Агым тизлеге | Биеклек H (мм) | Фильтрлау төгәллеге | Чистарту дәрәҗәсе |
|---|---|---|---|---|
| Z01B-00637 | 10 slpm | 51.6 | 0,003 мкм | C |
| Z01B-00638 | 40 slpm | 82.9 | 0,003 мкм | C |
| Z01B-00687 | 80 slpm | 126.2 | 0,003 мкм | C |
| Z01B-00688 | 120 slpm | 167.9 | 0,003 мкм | C |
Гадәти кушымталар
W-мөһер һәм C-мөһер белән куллану өчен, 1,125 һәм 1,5 дюймлы өслеккә урнаштырыла торган модульле газ җибәрү системалары.
Хәбәрегезне безгә җибәрегез:
