Ярымүткәргеч чиста бүлмә өчен температура һәм дым сенсоры Температура дым белән идарә итү схемасы

Продукция шоу

Температураһәмчиста мәйданның дымлылыгы, нигездә, процесс таләпләренә туры китереп билгеләнә, ләкин процесс таләпләрен үтәү шартларында уңайлык хисе исәпкә алынырга тиеш.Airава чисталыгы таләпләрен яхшырту белән, температура һәм дым өчен катгый таләпләр тенденциясе барлыкка килде.
Эшкәртү төгәллеге көннән-көн яхшырак булганлыктан, температураның үзгәрү диапазоны азрак.Мәсәлән, зур масштаблы интеграль схема производствосының литографик экспозиция процессында, маска материалы буларак пыяла һәм кремний вафер арасында җылылык киңәю коэффициентының аермасы кечерәк һәм кечерәк булырга тиеш.Диаметры 100 см кремний вафаты, температура 1 градус күтәрелү 0,24ум сызыклы киңәюгә китерәчәк, шуңа күрә ± 0,1 градус температура булырга тиеш, шул ук вакытта дым бәясе гадәттә түбән, чөнки кешеләр тирләнә, продукт пычраначак, аеруча натрий ярымүткәргеч остаханәсеннән курка, бу семинар 25 градустан артмаска тиеш.
Humгары дымлылык күбрәк проблемалар тудыра.Нисби дым 55% тан артканда, суыткыч су торбасы стенасында чык барлыкка киләчәк, ул төгәл җайланмаларда яки схемаларда булса, төрле аварияләр китерәчәк.Нисби дым 50% булганда, дат җиңел.Моннан тыш, дым артык булганда, кремний чип өслегенә ябыштырылган тузан химик яктан өскә чыгарылачак.Нисби дым никадәр югары булса, ябышуны бетерү кыен, ләкин чагыштырма дым 30% тан түбән булганда, электростатик көч тәэсире аркасында кисәкчәләр өскә җиңел кушылалар, һәм күп ярымүткәргеч җайланмалар. ватылырга мөмкин.Вафин җитештерү өчен оптималь температура диапазоны 35-45%.

Шуңа күрә температура һәм дым белән идарә итү аеруча мөһим, HENGKO сезгә серияләр тәкъдим итә алатемпература һәм дым тапшыргыч махсуслаштырылган эшкәртү чишелешләре!

Ярымүткәргеч чиста бүлмә өчен температура һәм дым сенсоры Температура дым белән идарә итү схемасы

Сезнең ихтыяҗларыгызга туры килгән продукт таба алмыйсызмы?Безнең сату персоналына мөрәҗәгать итегезOEM / ODM көйләү хезмәтләре!